rango de medida:0 ~ 300 L/min
Salida:Se trata de un sistema de seguridad.
Precisión:± 3% F.S.
Tasa de flujo de masa:0 - 1000 m2
Precisión:±(2 + 0.5 fs)%
Tiempo de respuesta:8 ms
Válvula de alimentación:4.75-5.25V
Alto nivel:4VDD
Bajo:0.8V
Output mode:Analog voltage (0.5 - 4.5VDC)
Interface type:M5 screw hole or JST electrical interface
Repeatability:±1.0%
Measuring Range:0 to 100%
Working Pressure:±100 mbar
Operating Temperature Range:15 to 40°C
Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Potencia:11.4 ~ 25.2V
Rango:0.5 ~ 10,1Se aplican las siguientes medidas:
Precisión Rango completo:Se aplicará el método siguiente: