Flow Range:0–15 SLPM
Accuracy:±(1.5% of reading + 0.5% of full scale)
Repeatability:±0.5% of full scale
Flow Range:0 - 2000 sccm
Accuracy:±(2.0 + 0.5FS)%
Range Ratio:100:1
Measurement Range:0–2 SLPM (Standard Liter per Minute)
Accuracy:±(1.5% + 0.2% F.S.)
Repeatability:±0.25%
Measurement Range:0–50 SLPM
Accuracy:±(2.0% + 0.5% F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0–500 SLPM
Accuracy:±1.5% of Full Scale (F.S.)
Repeatability:±0.75%
Measurement Range:0 - 800 SLPM
Accuracy Grade:1.5% F.S
Nominal Diameter:19mm
Potencia:11.4 ~ 25.2V
Rango:0.5 ~ 10,1Se aplican las siguientes medidas:
Precisión Rango completo:Se aplicará el método siguiente:
Rango de flujo:0 ~ 2000... 6000
Exactitud:±(2.0+0.5FS) %
Ratio de reducción:> 100:1
Para su uso con:Gas seco
Rango:+/- 200 cm/min
Exactitud:0.35%
Monitoring scope:500sccm
Accuracy:0.5%
Output voltage:4.5V
Desviación de salida del punto cero:+30 mV
Desviación de la producción:+0,12 %/oC
Fuente de alimentación de trabajo:8-18vdc, 100 mA
Ruta (N):2.3. 4. 5
Tasa de flujo:10, 20, 30, 40, 50 SLPM
Proporción de alcance:100:1