Rango de flujo:0 ~ 100 SLPM
Exactitud:±(2,0 + 0,5 % escala completa) %
Repetibilidad:± 0.5% de la lectura
Rango:0-100 l/min
Gas medido:Aire, Nitrógeno, Oxígeno, Argón, CO2
Exactitud:±2% RD
Rango:0 - 50 l/min
Exactitud:± (1.5 + 0.2 × FS) % 2
Modo de salida:Rs232 / voltaje analógico
Precisión:0,2 + 3%
Modelo:Newport E360
Características del producto:Diferencial de presión baja
Rango de flujo:0 a 180 l/min (a corto plazo 260 l/min)
Espacio muerto:<11 ml (funcional)
Resistencia:<0.027 CMH2O/(L/min) sobre el rango de flujo completo (-180 l/min a 180 l/min)
Tamaño del puerto:5.08 mm
Material de la carcasa:Silicio
Temperatura máxima de funcionamiento:+ 85 ° C
Fluir:0 a 30 l/min
Espacio muerto:1.3 ml (funcional)
Resistencia:<0.17 CMH2O/(L/min)
Rango de flujo:0 a 180 l/min (a corto plazo 260 l/min)
Espacio muerto:<11 ml (funcional)
Resistencia:<0.027 CMH2O/(L/min)
Número de modelo:FS4003-5-R-BV-A
Uso:Módulo
Condición:Original 100%
Tipo:Sensor de flujo de aire de masa
Utilizado para:Gas seco
Rango:0 SLPM a 10 SLPM
Rango de medición:30 ~ 300 litros/minuto
Repetibilidad:≤ ± 0.5% FS
Tiempo de respuesta (T90):≤ 3 s
Rango de medición:0 - 200 L/min
Repetibilidad:0.5%FS
Temperatura de funcionamiento:- 10 ~ + 60 ℃