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Datos del producto:
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| Completo: | 100 SCCM | Fuente de alimentación: | +15 a +28 VCC (suministro único) |
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| Señal: | analógico de 0 a 5 V; Soporta comunicación digital RS485. | Exactitud: | ±1% FS; Repetibilidad: ±0,2% FS |
| Resaltar: | Controlador de flujo másico de gas para la fabricación de semiconductores,sensor de flujo de aire médico con garantía,Controlador de flujo AS200A008C100CJCC |
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AS200A008C100CJCC Regulador de flujo de masa de gas Utilización para el proceso de fabricación de semiconductores
Aplicaciones típicas
Procesamiento de semiconductores, CVD, sistemas de distribución de gas, control de gas de laboratorio, instrumentos analíticos, etc.
Especificación:
| Tasa de filtración | 1×10−10 Pa·m3/s (He) |
| Resistencia a la presión | 3 MPa |
| Serie de productos AS200 | Controlador de flujo de masa de gas MEMS |
| A (tipo de sello) | A = sello de goma; señal: entrada/salida analógica de 0 ′5V |
| 008 (Código de gas) | 008 corresponde al gas especificado |
| C (unidad de rango) | C = SCCM (centimetros cúbicos estándar por minuto) |
| 100 (escala completa) | 100 SCCM |
| CJCC | Sufijo para la interfaz, el tipo de válvula, la combinación eléctrica y de ajuste |
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Persona de Contacto: Xu
Teléfono: 86+13352990255