AWM42300V Sensor de flujo de aire de masa de gas de microbridge para salida analógica de gas seco

Descripción del producto:

AWM42300V Sensor de flujo de aire de masa de gas de microbridge para salida analógica de gas seco

Características:

Sensor de flujo de masa de gas de la serie AWM40000, no amplificado (mV), rango de flujo/presión: ±1000 SCCM (1,0 SLPM);Tipo de interfaz: Manifold.

operación

El principio del sensor de flujo de masa de gas microbridge es la transferencia de calor.La velocidad de flujo de masa del gas se guía a través de la superficie del elemento de detección.La tensión de salida es proporcional a la masa de aire u otro gas que fluye a través de la entrada y salida del paquete.Una carcasa especialmente diseñada dirige y controla de manera óptima el flujo de aire a través de los elementos de detección microestructurados.El paquete está diseñado mecánicamente para ser fácilmente montado en una placa de circuito impreso.

El sensor de flujo de masa de gas de microbridge contiene un chip de silicio avanzado basado en tecnología avanzada de microestructura.El chip utiliza una película delgada y una estructura de puente adiabático con un elemento de calentamiento y detección de temperatura.La estructura puente puede responder rápida y sensiblemente al flujo de aire de aire u otros gases que fluyen a través del chip.Los elementos de detección dobles situados a ambos lados del elemento de calefacción central también indican la dirección y la velocidad del flujo.La película gruesa y la resistencia de la película corregidas por láser aseguran una intercambiabilidad constante de sensor a sensor en todo momento.

Los sensores de flujo de masa de gas de microbridge utilizan resistencias térmicas envueltas en películas de nitruro de silicio.Estas resistencias están suspendidas, formando dos puentes sobre la cavidad de grabado del chip de silicio.El chip se coloca en un canal de flujo de aire de tamaño *** para proporcionar una respuesta de flujo repetible.Al grabar la cavidad debajo del puente de detección de flujo, el calentador y la resistencia de detección pueden lograr un aislamiento térmico eficiente.El pequeño tamaño y la función de aislamiento térmico del sensor de flujo de masa de gas microbridge logran la respuesta de velocidad máxima y una alta sensibilidad al flujo de aire.

Los puentes gemelos Wheatstone controlan la medición del flujo de aire: uno proporciona un control del calentador de circuito cerrado y el otro contiene elementos de detección duales.El circuito del calentador reduce la variación de salida causada por cambios en la temperatura ambiente al proporcionar una salida proporcional al caudal de masa.Este circuito mantiene la temperatura del calentador a una diferencia de temperatura constante por encima de la temperatura ambiente (160°C), que se determina mediante la medición de la resistencia térmica en el chip.La salida del dispositivo es proporcional al voltaje de alimentación y también corresponde al voltaje diferencial del circuito de puente de Wheatstone.

Especificaciones: