YJJ AGP4000H00 MEMS Medidor de vacío compuesto de cátodo frío digital de alta precisión Medidor de vacío Pirani

Descripción del Producto:

YJJ AGP4000H00 MEMS Medidor de vacío compuesto de cátodo frío digital de alta precisión Pirani

Características:

I. Introducción del producto

Modelo: AGP4000H00, vacuómetro compuesto de rango completo, medidor de conductividad térmica Pirani integrado (que mide el vacío atmosférico a medio) + medidor de ionización de cátodo frío (que mide el alto vacío)

Conmutación automática de modo dual, no es necesario emparejarlo con dos vacuómetros independientes. Sonda de medición de vacío integrada de acero inoxidable, equipada con pantalla local TFT a color. También admite conexión de señal analógica/digital a PLC, pantalla táctil y host de control industrial.

Característica distintiva: La pantalla táctil Prophiles AGP4000 es similar a este modelo de vacuómetro, pero es un producto completamente diferente. No se debe confundir compra y conexión de hardware.

II. Parámetros básicos de rendimiento

1. Rango de medición de vacío (compuesto de doble calibre)

Rango de medición total: 5×10⁻⁶ Pa ～ 1×10⁵ Pa (que abarca 6 órdenes de magnitud y cubre bombeo aproximado, vacío medio y alto vacío durante todo el proceso)

Rango de trabajo de Pirani: 1×10⁵ Pa ～ 10 Pa (siempre encendido durante todo el proceso, monitoreando desde vacío atmosférico hasta vacío medio)

Umbral de inicio automático de cátodo frío: <10 Pa, inicia automáticamente la medición de ionización para alto vacío por debajo de este nivel de vacío, no es necesario cambiar manualmente

Unidades de medida: Pa/mbar/Torr, se pueden cambiar tres unidades a la vez, con interfaces en chino e inglés

2. Precisión y estabilidad

Error de repetibilidad: ≤±5% de lectura

Precisión de medición: ±30 % de lectura a escala completa

Velocidad de respuesta: respuesta de nivel de milisegundos de Pirani; Arranque rápido y estable de cátodo frío a alto voltaje

Características anticontaminación: El cátodo frío no tiene filamento de tungsteno calentado, no se quemará con vapor de aceite o polvo de recubrimiento, tiene una vida útil mucho más larga que el medidor de ionización de cátodo térmico.

3. Especificaciones del suministro de energía eléctrica

Voltaje de la fuente de alimentación: CC 15 ~ 30 V CC de amplio rango

Consumo de energía total: ≤6W

Comunicación / Fuente de alimentación Interfaz integrada: Fuente de alimentación integrada RJ45 + RS485

Comunicación digital: Modbus RTU, velocidad en baudios 4800/9600/19200/115200 ajustable, admite redes de múltiples dispositivos (dirección 1 ~ 255)

Salida analógica: salida de voltaje logarítmico de 0 ~ 10 V, se puede conectar directamente a grabadoras y módulos analógicos PLC.

Cantidad de conmutación: 2 relés de alarma programables, pueden establecer un umbral de vacío alto/bajo para vincular bombas, válvulas y luces de alarma

4. Mecánica, Ambiental, Materiales

Brida de vacío: Brida de liberación rápida estándar KF25, excelente estanqueidad al aire, admite instalación en cualquier ángulo

Material de contacto de la cavidad: acero inoxidable 304/316 electropulido, adecuado para sistemas de vacío sin aceite y lubricados con aceite suave.

Rango de temperatura de funcionamiento: 5 ℃ ~ 55 ℃

Rango de temperatura de almacenamiento: -20 ℃ ~ 70 ℃

Protección: Sellado metálico de toda la máquina, sonda resistente al polvo y a la contaminación leve por aceite.

Pantalla: Pantalla a color Micro TFT, visualización en tiempo real del valor de vacío, temperatura interna, estado de comunicación, luces de advertencia de dos colores para vacío alto/bajo

III. Principio de funcionamiento

Medidor Pirani (principio de conducción térmica)

Cable de resistencia de calentamiento MEMS interno, las moléculas de gas absorben calor, cuanto mayor es la presión, más rápida es la disipación del calor, menor es la temperatura de resistencia; el circuito recoge los cambios de resistencia y convierte el nivel de vacío atmosférico a 10 Pa, trabajando continuamente durante todo el proceso.

Medidor de ionización de cátodo frío (descarga panorámica)

Cuando el vacío es inferior a 10 Pa, carga automáticamente alto voltaje, la ionización del gas genera corriente iónica; cuanto mayor es el vacío, menor es la corriente iónica, midiendo así el rango de alto vacío de 10Pa~10⁻⁶Pa.

La MCU incorporada determina automáticamente el rango de presión, cambia sin problemas entre dos modos de medición, genera el valor de vacío de manera uniforme, sin necesidad de que el equipo backend realice el cambio lógico de rango.

IV. Ventajas principales

El medidor único cubre todo el rango de vacío, reemplazando la tradicional solución de sonda dual "Pirani Gauge + Ionization Gauge", lo que reduce el costo del equipo y el espacio de instalación; El cátodo frío sin filamento, que no teme el impacto atmosférico ni la contaminación del recubrimiento, requiere poco mantenimiento, adecuado para una producción industrial continua las 24 horas;

Viene con una pantalla a color local, que permite la lectura in situ de los valores de vacío sin necesidad de una computadora superior, lo que facilita la depuración y el mantenimiento;

También cuenta con salidas duales analógicas 0-10V + digitales Modbus, compatibles con pantallas táctiles Proflex, varios PLC y sistemas de adquisición de control industrial;

Amplio voltaje DC15~30V, compatible con gabinetes de equipos para fuente de alimentación DC, gran compatibilidad en sitios industriales;

La brida estándar universal KF25 puede coincidir directamente con bombas moleculares, bombas mecánicas y tuberías estándar de cámaras de vacío.

VII. Principales escenarios de aplicación

1. Semiconductores, equipos de recubrimiento al vacío (aplicación principal)

Pulverización con magnetrón, máquinas de evaporación, recubrimiento óptico, equipos de película conductora ITO

Envasado de obleas, limpieza por plasma, equipos de grabado, seguimiento de todo el proceso de bombeo grueso → curva de proceso de alto vacío

Detección de fugas en la cavidad de vacío, combinada con equipo de detección de fugas de helio para determinar el punto de fuga

2. Equipo de laboratorio de investigación.

Incubadoras anaeróbicas celulares, cabinas de secado al vacío, hornos de sinterización por prensado en caliente

Cámaras de simulación climática, bancos de pruebas de estanqueidad al aire, equipos de prueba de envejecimiento de materiales al vacío.

Investigación de cámaras experimentales de alto vacío, monitoreo de vacío de fuente de iones

3. Batería de litio, nuevos equipos de fabricación de energía.

Horneado al vacío con batería de litio, cámara de vacío de inyección, estación de detección de fugas de estanqueidad al aire de las celdas

Sistema de evaporación para desespumante de electrolitos, equipos de recubrimiento al vacío con electrodos.

4. Industria aeroespacial y de pruebas de precisión.

Cámaras de prueba de vacío de alta y baja temperatura para componentes aeroespaciales, equipos de simulación del entorno espacial de naves espaciales

Instrumentos de precisión, sensores, estaciones de calibración de vacío.

5. Equipos de vacío de apoyo médico.

Cámaras médicas de presión negativa, equipos de esterilización al vacío estériles, máquinas de liofilización de muestras biológicas

Máquinas respiratorias complementarias, control de enlace de presión de vacío (se puede combinar con el enlace del sensor de CO₂ ExplorIR-M-5)

6. Automatización de vacío industrial general.

Equipos de adsorción de presión negativa al vacío, máquinas de envasado al vacío, control de conexión del grupo de bombas de vacío, arranque y parada automáticos por exceso de vacío de bombas mecánicas, bombas moleculares, válvulas de aislamiento.

VI. Soluciones de interfaz de soporte (compatibles con sus materiales existentes)

Pantalla superior: Pantalla táctil AGP4000 Proflex, lee valores de vacío a través de Modbus RJ45, realiza curva, alarma y lógica de proceso automático;

Conexión de gas: junto con el sensor de CO₂ ExplorIR-M-5, el sensor de olor ZP152, realiza un monitoreo integrado del vacío en la cámara + concentración de gas;

Máquina médica completa: combinada con el host de monitoreo de sonda de oxígeno en sangre DS100A, utilizada para equipos integrados de vacío médico + señales de vida.

Presupuesto: