sensor micro AWM42300V del metro de flujo de masa del gas del puente de ±1000sccm

sensor micro AWM42300V del metro de flujo de masa del gas del puente de ±1000sccm

sensor de flujo de masa del gas del Micro-puente de ±1000sccm AWM42300V

Características:

El sensor de flujo total del gas de Microbridge utiliza resistencia termal envuelto en una película fina del nitruro de silicio. Estos resistores se suspenden y forman dos puentes sobre la cavidad que graba al agua fuerte de la oblea de silicio. El microprocesador se coloca en el mejor canal de la circulación de aire de la especificación para proporcionar respuesta repetible del flujo. Grabando al agua fuerte la cavidad bajo flujo que detecta el puente, el calentador y detectando el resistor alcanza el aislamiento termal eficiente. La función tamaño pequeño y termal del aislamiento del sensor de flujo de masa del gas del micro-puente alcanzar respuesta rápida y alta sensibilidad a la circulación de aire.

Medida de la circulación de aire del control del gemelo-puente de Wheatstone - una proporciona control a circuito cerrado del calentador, la otra contiene elementos de detección duales. El circuito del calentador reduce la variación de la salida debido a la variación de la temperatura ambiente proporcionando una salida proporcional al flujo total. Este circuito mantiene la temperatura del calentador en una diferencia de la temperatura constante sobre la temperatura ambiente (el °C) 160, que es medido por la resistencia termal en el microprocesador. La salida del dispositivo es proporcional al voltaje de fuente y también corresponde al voltaje diferenciado del circuito de puente de Wheatstone.

Especificaciones: